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            硅材料应用
            信息来源:不详 发布时间:2014-7-31  分享到:

            上图为利用DRIE工艺研制的硅擒纵轮


            上图为利用DRIE工艺研制的硅游丝


            上图为利用DRIE工艺研制的硅擒纵叉

                单晶硅的密度大约为钢的1/3 ,线胀系数是钢的1/5,弹性模量与钢相当,具有较高的硬度,具有美丽的色泽和良好的抗腐蚀性,硬脆,易沿某个晶面开裂。除上述性能外,硅材料具有较低摩擦系数、无磁性、低的内耗。除此之外实验表明,利用MEMS技术加工的单晶硅擒纵调速零件,解决了擒纵轮齿形分布不均匀,游丝动态过程中,中心的偏移产生的干扰力矩等因素对等时性的影响,有效提高了走时精度。





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